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S540 是一種全自動晶圓級參數(shù)測試系統(tǒng)，可以在一次探頭接觸中執(zhí)行高達3kV 的所有高壓測試、低壓測試、低電流測試和電容測試，提高生產效率，降低擁有成本。該系統(tǒng)把吉時利測量儀器與低壓和高壓開關矩陣、線纜、探頭卡適配器、探頭驅動器和KTE 測試軟件安全無縫地集成在一起。最終結果，是可以量身定制12~48 針參數(shù)測試系統(tǒng)，而不需要重新配置測試設置，在從高壓測試轉向低壓 測試時不用使用兩個單獨的測試系統(tǒng)，實現(xiàn)全自動2 端子或3 端子晶體管電容測量，提供pA 級測量性能。

主要特點:

• 在一次探頭接觸中，在最多48針上自動執(zhí)行所有晶圓級參數(shù)測試，包括高壓擊穿、電容和低壓測量，而不需改變電纜或探頭卡基礎設施
• 執(zhí)行晶體管電容測量，如 Ciss、Coss 和 Crss，高達 3 kV，而不需手動重新配置測試針
• 在高速多針、全自動測試環(huán)境中實現(xiàn)低電平測量性能
• 基于 Linux 的 KTE ( 吉時利測試環(huán)境 ) 系統(tǒng)軟件，簡便地開發(fā)測試，快速執(zhí)行測試
• 特別適合工藝集成、工藝控制監(jiān)測和生產芯片分揀等全自動 應用或半自動應用
• 縮短測試時間及測試設置時間，減少占用空間， 降低擁有成本，同時實現(xiàn)實驗室級測量性能

全面進行高達3 kV 的一遍參數(shù)測試

S540 是為用于擁有各種產品組合的環(huán)境而優(yōu)化的，可以配置為12 針、24 針、36 針或48 針系統(tǒng)。有兩種主要配置：基本高壓配置有12 針，高電壓/ 低電流配置則有12 針高電壓和36 針低電流。這兩種配置都支持多條SMU ( 源測量單元) 通道、兩端子和三端子電容測量、差分電壓測量以及脈沖和頻率測量。所有測試引腳都連接到一張?zhí)筋^卡上，因此可以在一個探頭接觸中執(zhí)行所有測試，提高生產效率，降低擁有成本。

高達3 kV 的全自動兩端子和三端子電容測量

除在全自動生產應用中執(zhí)行的典型2 端子電容測量外，S540 還可以執(zhí)行半自動研發(fā)應用和工藝集成應用中常見的3 端子晶體管電容測量。可以在高達3 kV 的偏置電壓及高達1 MHz 的頻率上執(zhí)行測試。S540 自動執(zhí)行這些3 端子測量，如Ciss、 Coss 和Crss，而不需手動配置測試針。這可以更迅速地收集更多的器件數(shù)據(jù)，加快測試速度，最終加快產品開發(fā)周期。

由于普通電容儀表的內置偏置電壓低于100 V，因此測量高壓功率半導體的電容要求使用外部電壓源和Bias-T。與其他高壓參數(shù)測量解決方案不同，S540 使用系統(tǒng)級開路- 短路- 負載補償技術，確保Bias-T 不會在測量中注入錯誤，并能夠在全自動生產環(huán)境中實現(xiàn)實驗室質量的電容測量。

S540 可以執(zhí)行全自動實驗室質量的三端子電容測量

強大的系統(tǒng)軟件

吉時利S540 系統(tǒng)擁有吉時利測試環(huán)境(KTE) v5.7 軟件，用于測試開發(fā)和執(zhí)行。KTE v5.7 的系統(tǒng)級速度較KTE v5.5 最多提高了40%。KTE 裝在采用Linux 操作系統(tǒng)的標準工控PC 上，把吉時利數(shù)十年的參數(shù)測試經驗融入到功能中。

KTE 軟件可以簡便地編寫、轉換或重用測量例程和測試計劃，幫助您更快地啟動和運行系統(tǒng)。

S540 軟件包括所有關鍵系統(tǒng)軟件操作：

• 晶圓描述
• 測試宏程序開發(fā)
• 測試計劃開發(fā)
• 極限
• 晶圓級或組件級測試，支持自動探頭控制
• 測試數(shù)據(jù)管理
• 用戶接入點
• 系統(tǒng)診斷

3 kV 探頭卡和探頭卡適配器(PCA) 解決方案

在多針全自動生產測試應用中進行可靠的高壓測量帶來了許多挑戰(zhàn)，包括環(huán)境、器件布線和探頭設計。吉時利為探測最高 3k V 電壓、同時保持低電平測量性能提供了兩種優(yōu)質解決方案： 吉時利9140 和Celadon 45E。此外，為簡化探頭卡安裝和拆卸， 我們作為出廠安裝選項提供了inTEST 頂部裝載探頭卡接口。